线性纳米定位平台

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线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-808030

运行行程: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 160, 1,000, 80 nm

... SOM-808030是SmarAct的显微镜平台中唯一提供垂直移动方向的。X和Y轴的移动范围为51毫米,Z轴为16毫米。该平台的尺寸为长和宽138毫米,高56毫米。由于SOM-808030是基于SmarAct的SLC系列线性平台,它提供最高的闭环重复性和纳米分辨率。 通过标准插入物的适配器,确保了与普通制造商的兼容性。显微镜平台的底板是与面包板兼容的。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 3.5/ ≥ 5.5 尺寸[mm] - 138x ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-12090

运行行程: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 240, 120, 1,000 nm

... SOM-12090长226毫米,宽176毫米,高30毫米,是SmarAct的第二大显微镜平台。该平台在X轴上的移动范围为83毫米,Y轴上为63毫米。它基于SmarAct的紧凑型SLC线性平台,具有纳米级的精度和最高的闭环可重复性。 与面包板兼容的底板和标准插入物的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 15 尺寸[mm] - 226 x 176 x 30 重量[g] - ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-180150

运行行程: 123, 103 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 180, 360, 1,000 nm

... SOM-180150在X轴上有123毫米,Y轴上有103毫米,在所有SmarAct显微镜平台中提供最大的行程范围。基于紧凑的SLC线性平台,SOM-180150提供了纳米级的精度和最高的闭环重复精度。该平台的长度为286毫米,宽度为216毫米,高度为30毫米。该平台的重量为2500克。 通过标准插件的适配器和兼容面包板的底板,确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 10 尺寸[mm] ...

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SmarAct GmbH
压电纳米定位平台
压电纳米定位平台
OP800

运行行程: 800 µm
速度: 17 m/s
重复精度: 6 nm

... OP800 压电物镜扫描仪是目前所有物镜定位仪中步进和稳定时间最快的。由于采用了电容式反馈传感器,它还具有市场领先的定位精度和分辨率。该系统与大多数显微镜和物镜兼容,具有用户可配置的设置,可针对不同的物镜尺寸、重量和性能需求进行优化。用户只需选择适合其应用的最佳设置即可。 ...

线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
OP400

运行行程: 400 mm

... NanoScan OP400 纳米压电物体的扫描仪提供了任何可用物体的定位器的最快的步进和稳定时间。 它集成了电容式反馈传感器,同时具有市场领先的定位精度和分辨率。 与大多数显微镜和物镜兼容,系统具有针对不同物镜尺寸、重量和性能需求优化的用户可配置设置。 用户只需为其应用程序选择最佳设置。 ...

Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
SP series

运行行程: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
重复精度: 3 nm

... NanoScan-SP 系列压电驱动平台具有最佳的定位性能和最快的 Z 堆叠间恢复速度,可与 Prior 电动平台以及使用适当转接板的许多普通显微镜兼容。超薄的 13.7 毫米高度是 400 微米和 600 微米闭环版的一大特点,为样品区的照明提供了更好的通道。附件插入板适用于各种样品,包括孔板、微滴板、载玻片和培养皿。 ...

线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
NT...V

IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺,在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等,是极具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L,有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石,虽然是极小型,但最大推力达到了36N,可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨,实现了高洁净度。纳米直线电机NT最适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。

适用真空纳米定位平台
适用真空纳米定位平台
LA97 series

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV,100 - 300 mm行程,0.02 µm重复性,最高10 kg负载 - 真空:所有区域HV/UHV,最高10E-11 mbar - 润滑:液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...

XY轴纳米定位平台
XY轴纳米定位平台
KLT300 series

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空:所有范围的HV / UHV / EUV,最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径:80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台(如DT155)结合,用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1(根据要求达到1级)。 - ...

线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
ANT95-L-Z series

运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 75 nm

... 我们的第二代ANT95LZ平台专门设计用于在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡使其在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中的佼佼者。ANT95LZ平台具有出色的动态性能和更强的承载能力,是您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm。 -在最长50 mm的移动长度上实现纳米级定位性能 -通过用户可调的超低摩擦平衡,在垂直方向实现精确定位,有效载荷可达5公斤 -采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机,最大限度地提高了工艺产量和可靠性 ANT95LZ是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择,包括 -光学装配和检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...

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Aerotech/美国Aerotech
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
NPX series

运行行程: 0.4, 0.2, 0.1 mm

NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动,所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能,使它们可以用于动态过程(如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描)。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计,适用于闭环操作 •共振频率高,适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 ...

XY轴纳米定位平台
XY轴纳米定位平台
PXY Series

运行行程: max 16.0 µm

... 压电系统 Jena 的 PXY 系列是一个 XY 纳米定位级,用于将压电致动器分解成柔性铰链系统。 通过这些组件,该装置能够在具有纳米精度的动态条件下工作。 它配备了每轴约 700 微米的旅行范围。 此外,它还配备了集成的反馈控制,旨在实现长期稳定性和亚纳米精度。 该工具是特殊应用的理想选择,如光学、光纤定位、激光技术、二维扫描运动、自动化和遥导系统。 此外,它具有一种施工原理,可实现高分辨率应用,远远超出机械和机电定位系统的要求。 它很容易安装在所有类型的定位系统。 ...

线性纳米定位平台
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VZMP series

运行行程: 5 mm - 80 mm

... 导轨台系列迷你孔径ø4.5至32毫米。标准选择的工作台类型,带有紧凑的高刚性直线导轨。广泛的选择允许机械设计的极大自由度。通过液压减震器或缓冲器调节行程,从孔径10 ...

Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
Model ZSA-1000C

运行行程: 1 mm

... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动,用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性,最小的滚动和倾斜以及动态响应,从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对,用于闭环控制,并采用高分辨率电容式探头,在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程:1050 微米 ± 10% • 闭环行程:1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率:20 ...

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