紧凑型纳米定位平台

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旋转纳米定位平台
旋转纳米定位平台
FBR Series

Nanomotion FBR系列旋转平台是结构最紧凑的精密旋转驱动器,一个直径为60mm的陶瓷圈环绕在带有非接触式光电编码器的精密交叉滚子旋转轴承上。FBR60可配置解析度为0.5角秒的编码器,一个或多个电机,以满足不同的转速/转矩的要求。

压电纳米定位平台
压电纳米定位平台
PLF3232-x.60

... SMARFLEX纳米定位扫描平台利用压电驱动的机械挠性体的优势,实现了高达几百微米的高度精确定位任务。 PLF3232-x.60在X方向提供了60微米的扫描范围。它的重量为30克,非常轻,而且相当紧凑,为32 x 32 x 12毫米。 ...

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SmarAct GmbH
压电纳米定位平台
压电纳米定位平台
PLF3232-z.60

... SMARFLEX纳米定位扫描平台利用压电驱动的机械挠性体的优势,实现了高达几百微米的高度精确定位任务。 PLF3232-z.60在Z方向提供了超过60微米的扫描范围。它的重量为30克,非常轻,也相当紧凑,为32 x 32 x 15毫米。 ...

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SmarAct GmbH
压电纳米定位平台
压电纳米定位平台
PLF5252-x.200

... SMARFLEX纳米定位扫描平台利用压电驱动的机械挠性体的优势,实现了高达几百微米的高度精确定位任务。 PLF5252-x.200在X方向提供了超过200微米的扫描范围。它的重量为90克,非常轻,也相当紧凑,为52 x 52 x 15毫米。 ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-12090

运行行程: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 240, 120, 1,000 nm

... SOM-12090长226毫米,宽176毫米,高30毫米,是SmarAct的第二大显微镜平台。该平台在X轴上的移动范围为83毫米,Y轴上为63毫米。它基于SmarAct的紧凑型SLC线性平台,具有纳米级的精度和最高的闭环可重复性。 与面包板兼容的底板和标准插入物的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 15 尺寸[mm] - 226 x 176 x 30 重量[g] - ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-180150

运行行程: 123, 103 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 180, 360, 1,000 nm

... SOM-180150在X轴上有123毫米,Y轴上有103毫米,在所有SmarAct显微镜平台中提供最大的行程范围。基于紧凑的SLC线性平台,SOM-180150提供了纳米级的精度和最高的闭环重复精度。该平台的长度为286毫米,宽度为216毫米,高度为30毫米。该平台的重量为2500克。 通过标准插件的适配器和兼容面包板的底板,确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 10 尺寸[mm] ...

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SmarAct GmbH
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-8080

运行行程: 51 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 80, 160, 1,000 nm

... SOM-8080是SmarAct最紧凑的显微镜平台,在X和Y轴上提供51毫米的移动范围。平台的尺寸是长和宽138 mm,高23 mm。像所有的SmarAct显微镜平台一样,SOM-8080是基于SmarAct的高精度SLC系列线性平台,因此具有最高的重复性和纳米分辨率。 显微镜平台的底板是与面包板兼容的。用于标准插入物的适配器确保了与常见制造商的兼容性。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 行程[mm] - 51 (X); 51 (Y) 阻塞力[N] ...

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线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
NT...V

IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺,在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等,是极具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L,有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石,虽然是极小型,但最大推力达到了36N,可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨,实现了高洁净度。纳米直线电机NT最适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。

线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
ANT95R Series

载荷: 2, 1.5 kg

... ANT95R直驱旋转平台具有前所未有的位置稳定性和0.01角秒以下的增量运动性能,并提供两种精度等级。结构紧凑,易于与其他运动轴和系统集成。 -0.01角秒分辨率 -0.005角秒位置稳定性 -出色的误差运动规格 -多轴配置 -高动态性能 -有限旋转和无限旋转 多轴功能 ANT95R系列的设计是为了与Aerotech的ANT线性平台产品相容与容易整合.ANT95R系列与Aerotech的ANT线性平台兼容, 易于整合. ...

线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
NPX series

运行行程: 0.4, 0.2, 0.1 mm

NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动,所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能,使它们可以用于动态过程(如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描)。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计,适用于闭环操作 •共振频率高,适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 ...

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