紧凑型干涉仪

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光学干涉仪
光学干涉仪
Verifire™ XL

大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站,可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。 这款完全集成的系统易于使用,其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位,而无需定制夹具。 占地面积小,内置隔振系统,并配有控制器显示器支架,只占用很小的车间地板空间。 独立的大口径工作站,用于测量直径达 12 英寸(300 mm)的平面光学表面面形,如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。 主要特点 12 英寸(300 ...

光学干涉仪
光学干涉仪
Verifire VTS

ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位,实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台,即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件,并实现曲率半径测量。 VTS 与一系列干涉仪主机兼容,您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 它的占地面积小,可选配带光幕运动联锁的安全罩,该安全罩符合 ...

位移测量干涉仪
位移测量干涉仪
ZMI™ Series

ZYGO 的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向,并且可以在真空中工作。 该装置会测量回射器目标,用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO 提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪,以满足不同的空间限制要求。例如:十字刻线台、龙门系统、转向镜 该装置会测量平面镜目标,用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO 的平面镜干涉仪具有高稳定性,可减少热误差。例如:晶圆台、堆叠工作台系统 该装置会测量折射率的变化,用于补偿其他测量轴。ZYGO ...

激光干涉仪
激光干涉仪
XD Laser

可一次测量六个参数的激光干涉仪 80 米 线性测量范围 0.5 PPM 测量精度 6自由度 高效测量 4.2 KG 整机重量 多轴加工中心的校准 XD Laser激光干涉仪,一次安装可测得六个参数(包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角),可实现对多轴加工中心的精准测量与评估。 快速测量 与传统干涉仪相比,XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据,迅速完成整机的性能评估,停机时间可减少80%。 实时分析 API激光干涉仪软件系统可对XD激光干涉仪采集的数据进行实时分析处理并生成测量报告。 快速测量 与传统干涉仪相比,XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据,迅速完成整机的性能评估,停机时间可减少80%。 6自由度测量 XD激光干涉仪,一次安装即可测得包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角在内的6个参数,大幅提升测量效率。 适用于多种参数的测量 XD激光干涉仪可测量多种机床参数,包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度误差等等。 紧凑式设计 XD ...

激光干涉仪
激光干涉仪
SP 5000 NG

... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能,易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜,例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...

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SIOS Meßtechnik GmbH
校准干涉仪
校准干涉仪
SP 15000 NG

... 用于远距离高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 易于调整和操作 - 测量范围可达 80 米 - 设计紧凑 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 SP 15000 NG 长距离激光干涉仪是在 SP 5000 NG 产品系列的基础上专门为长距离长度测量而设计的。传感头带有附加光学镜组,可使激光束以最佳状态适应大长度测量。大型三坐标测量机和机床、长直线轴和校准距离是这种精密直线光栅的主要应用领域。 ...

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SIOS Meßtechnik GmbH
OEM应用干涉仪
OEM应用干涉仪
SP 5000 DI/F

... 超稳定紧凑型差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热超稳定传感器设计,温度灵敏度 < 10 nm/K - 可使用各种光学反射器,如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 结构紧凑、坚固耐用 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离:14 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口可用作反馈系统 - 多种触发选项 超稳定、结构紧凑的 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为必须长时间进行高度稳定的长度测量的应用而设计。传感器设计紧凑,即使在狭小的空间内也能实现长期稳定的调整和放置,因此该精密测量系统非常适合用作闭合控制回路的激光尺。应用中需要一个外部参考点,通常将其置于测量范围的中间位置,以实现最佳的测量值稳定性。干涉仪的基本原理基于 ...

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SIOS Meßtechnik GmbH
平面度测量干涉仪
平面度测量干涉仪
VI-direct

... 微型干涉仪 VI-direct 将平面度测试范围扩展到最小直径领域。菲佐型干涉仪能够测量直径在 0.8 毫米到 3.6 毫米之间的光学部件的表面平面度。微型干涉仪 VI-direct 性价比高,可用于测试微型棱镜、激光晶体、光纤末端等光学部件。 - 通过 USB 3 端口直接连接电脑,无需图像采集器 - 高分辨率数码相机(3088x2076 像素) - 曝光时间短,对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可用于垂直、水平或倾斜方向。这使得该仪器在客户的特定应用中具有极高的通用性 ...

激光干涉仪
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AccuFiz 6MP

菲佐干涉仪
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OWI series

OWI Desktop 60 mm 特征 非接触式镜片测量系统 坚固结实,带防震垫设计 结构紧凑,桌面放置 易于使用 带千分调节螺丝的三轴精调平台 已包含我公司高级干涉仪模块OptoTech Inspect Mini EL-F 选配件:带精密量具,集成半径测量功能;OptoTech Fringe OWI干涉条纹分析软件 性能数据 工作范围:Ø最大60mm(根据60mm参考球面) 工作范围半径取决于参考球面 OWI 150 XT invers 特征 高精度斐索干涉仪OWI ...

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OptoTech
白光干涉仪
白光干涉仪
interferoMETER

亚纳米级位移测量干涉仪
亚纳米级位移测量干涉仪
MarSurf WI 50 M

全新 MarSurf WI 50 M 让亚纳米范围内的精确测量变得简单。这一 3D 测量仪器具有直观的软件用户指导和友好的界面设计,非常适合实验室中的日常使用和质量管理。 新 WI 50 M 满足您在纳米范围内的所有测量需求 - 提供最高的性能和令人惊叹的性价比。凭借极简方法、紧凑设计和巨大的安装空间,此工具不愧为“最佳入门级解决方案”。 典型测量任务 粗糙度测量符合 ISO 4287 & ISO 13565 / ISO 25178 表面特征轮廓测量(包括体积、磨损、摩擦学) 轮廓和形状 ...

紧凑型干涉仪
紧凑型干涉仪
FI 1100 Z

强大的 Fizeau 干涉仪. 最小的测量不确定性和优异的灵活性及多功能性 无接触形状和轴前测量 MarOpto FI 1100 Z 是一款功能强大的紧凑型干涉仪,孔径 100 mm,可以提供平面和球面以及波阵面非接触测量。 可以通过简单的干涉条纹检测、IntelliPhase 静态空间载波分析或标准相位盘来执行测量。MarOpto FI 1100 Z 可提供现在的工业应用需要的灵活性和优异的性能。除表面测试光学组件外,还可以测量曲率和波阵面的半径。 尺寸小,方便集成到 ...

光学干涉仪
光学干涉仪
PicoMove

... Teem Photonics公司已经开发并提供了一个新的紧凑、稳定和高性能的干涉仪系列,用于测量皮米级的位移和振动。 Teem Photonics的PicoMove干涉仪是基于单芯片集成的高稳定性架构,其测量结果具有内在的超低噪声。 对眼睛安全的1.55µm工作波长提供了与商业电信源的兼容性。 该传感器的设计还可以处理可见光波长,以方便光束对准。Teem提出了使用低热膨胀材料和UHV环境的封装选项。测量系统的电气部分(激光源、检测器)通过可靠的光纤尾纤进行远程控制。 ...

紧凑型干涉仪
紧凑型干涉仪
SLI 202, ALI 202

... 信息 紧凑的车间干涉仪可以安装在生产车间,提供随时接触眼镜师并提高生产率。 垂直隔振设计需要最小的占地面积。 完整的外壳可以在不太理想的环境中保护仪器。 边缘图案的实时监视器显示使得对齐变得容易。 相位测量功能可生成精确的波前图,您可以通过用户友好的分析软件进一步研究。 可选的精密距离测量设备可实现镜头的精确定位。 此外,全自动对齐功能还使用电动平移和旋转阶段来移动镜头,对于白杨,计算机生成的全息图 (CGH),以获得非常可重复的测量结果。 干涉仪提供 ...

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