干涉仪

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校准干涉仪
校准干涉仪
XL-80

XL-80系统快速、精确,而且非常轻便,因此它成为销量最好的激光校准系统丝毫不足为奇。XL-80采用先进的软件解决方案,具有优异的性能,可以帮助您显著提高企业效益。 雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有超过25年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶,具有真正领先的系统性能和操作优点。

差动干涉仪
差动干涉仪
RLD10

RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。 特性与优点 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比,平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值(即 < 2 W)的应用。

激光干涉仪
激光干涉仪
Qualifire™

... 50 多年来,移相干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用,激光干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案,代表了激光干涉仪的一次飞跃。 移相干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中,Fizeau 设计使用一个固定的轴上相干点光源来照亮干涉腔。 ...

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Zygo
激光干涉仪
激光干涉仪
Verifire™

Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计,建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合,实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来,光学计量技术取得了很大的进步。 在过去,人们需要小心翼翼地控制环境的影响,才能获得可靠的测量。 ...

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Zygo
光学干涉仪
光学干涉仪
DynaFiz®

为动态测量提供可靠的计量方案 DynaFiz 动态计量干涉仪 专为在振动频繁的环境中进行可靠的干涉测量而设计;其多功能性和灵活性足以满足广泛的应用需求,包括从高端望远镜测试到主动对准光学系统的实时相位反馈等需求。 DynaFiz® 的高光效光学设计与 ZYGO 高功率 HeNe 激光源相结合,可在“冻结”振动的高摄像机快门速度下运行。这种动态能力可在对于传统的相移技术来说过于恶劣的环境中提供可靠的计量。 全相干光学设计,可实现最高的光效率,提高动态性能 具有 ...

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Zygo
激光干涉仪
激光干涉仪
XD Laser

可一次测量六个参数的激光干涉仪 80 米 线性测量范围 0.5 PPM 测量精度 6自由度 高效测量 4.2 KG 整机重量 多轴加工中心的校准 XD Laser激光干涉仪,一次安装可测得六个参数(包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角),可实现对多轴加工中心的精准测量与评估。 快速测量 与传统干涉仪相比,XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据,迅速完成整机的性能评估,停机时间可减少80%。 实时分析 API激光干涉仪软件系统可对XD激光干涉仪采集的数据进行实时分析处理并生成测量报告。 快速测量 与传统干涉仪相比,XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据,迅速完成整机的性能评估,停机时间可减少80%。 6自由度测量 XD激光干涉仪,一次安装即可测得包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角在内的6个参数,大幅提升测量效率。 适用于多种参数的测量 XD激光干涉仪可测量多种机床参数,包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度误差等等。 紧凑式设计 XD ...

校准干涉仪
校准干涉仪
SP 5000 TR

... 三束激光干涉测量系统,可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统,精度最高 - 集成光束方向检测功能,易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜,如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离:12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中,同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值,可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...

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SIOS Meßtechnik GmbH
激光干涉仪
激光干涉仪
SP 5000 NG

... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能,易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜,例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...

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SIOS Meßtechnik GmbH
激光干涉仪
激光干涉仪
SP 5000 DI

... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器,温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器,如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离:21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性,因此是研发领域(如材料特性分析)长期测量的首选。 与标准干涉仪不同,差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出,与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方,而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内,而且由于采用了差分原理,即使在正常的实验室条件下,也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量,长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计,因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...

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SIOS Meßtechnik GmbH
磨削零件干涉仪
磨削零件干涉仪
IBIS-FB

... 斜坡监测雷达在过去的十年中已经成为监测露天矿山中8个斜坡运动的领先工具。1BIS-FB集成了标准的振动监测系统,提供高精度的地面振动的远程大面积测量。在每一次爆破后,1BIS-FB在远距离的多个点上测量一系列的性能指数,甚至允许从传统监测系统无法监测的区域内接收数据。 用户将得到以下大范围的测量结果 - 位移、速度和加速度随时间的变化趋势 - 峰值粒子速度(PPV) - 频谱分布 - PPV的趋势与按比例的dIstance的关系 IBIS-FB在不同的距离上同时获取非常大的数据集,而不需要在斜坡上实际放置任何传感器或标记物。该雷达系统不仅可以根据峰值粒子速度和相关频率频繁地分析地面振动,而且还可以通过单一的远程测量来模拟和预测PPV趋势与标定距离。通过提供最常见的爆破分析标准(Richards ...

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BOVIAR SRL
光学干涉仪
光学干涉仪
VI-direct series

... 自由孔径为 100 毫米的 VI-direct 干涉仪可以检测直径为 25 至 100 毫米的光学器件。供货范围包括一个波长为 632.8 nm 的氦氖激光器。 通过 USB 3 端口直接连接电脑,无需图像采集器 - 高分辨率(3088x2076 像素)数码相机 - 曝光时间短,对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可在垂直、水平和倾斜角度下使用,因此可根据客户要求进行布置 - 由于设计紧凑,干涉仪可以很好地集成到与应用相关的工作站中 - 使用 ...

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MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH
平面度测量干涉仪
平面度测量干涉仪
VI-direct

... 微型干涉仪 VI-direct 将平面度测试范围扩展到最小直径领域。菲佐型干涉仪能够测量直径在 0.8 毫米到 3.6 毫米之间的光学部件的表面平面度。微型干涉仪 VI-direct 性价比高,可用于测试微型棱镜、激光晶体、光纤末端等光学部件。 - 通过 USB 3 端口直接连接电脑,无需图像采集器 - 高分辨率数码相机(3088x2076 像素) - 曝光时间短,对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可用于垂直、水平或倾斜方向。这使得该仪器在客户的特定应用中具有极高的通用性 ...

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MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH
光学干涉仪
光学干涉仪
VI-DIRECT 28 SUL

... 测量站 Interferometer VI-direct 28 SUL 可以快速检测球形表面的形状或半径偏差。可选择使用 INTOMATIK-S 软件对干涉图进行评估。 - 通过 USB 3 端口与视频微型计算机直接连接 - 高分辨率数码相机(3088x2076 像素) - 曝光时间短,对振动不敏感 - 半径测量显示单元 - 一组光圈挡块 - 样品支持 XY 移位 - 用于快速预对准的查找器模式 - 易于使用 - 使用 INTOMATIK-S ...

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MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH
波前分割干涉仪
波前分割干涉仪
WaveMaster® COMPACT

自动化干涉仪
自动化干涉仪
WaveMaster® PRO 2 / PRO 2

... 对小型塑料或玻璃镜片、光学窗的批量生产的质量和效率要求不断提高。 在批量生产中使用波前测量技术可以产生很大的优化潜力。 WaveMaster® PRO 2 和 PRO 2 晶圆在光学和光学晶圆系列测试中树立了新的标准。 每个光学仪器的典型测量时间为 2 秒,并且快速更换托盘或晶圆,满足了批量生产的先决条件。 在测量技术方面,WaveMaster® PRO 2 和 PRO 2 晶圆利用哈特曼传感器确定波前,从而得出各种参数。 然后对每个镜头进行与设计数据的比较。 ...

光学干涉仪
光学干涉仪
202758

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OVIO INSTRUMENTS
平面度测量干涉仪
平面度测量干涉仪
TOPOS 50

... TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度,光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 部件可以由多种材料组成: -金属(钢,铝,青铜,铜等) -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上,靠近加工机。 在整个测量区域内,绝对精度高达 0.1µm。 TOPOS 50 是一款非接触式平坦度测量仪器,用于精确制造 的表面,具有亚微米精度。 ...

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Lamtech Lasermesstechnik GmbH
平面度测量干涉仪
平面度测量干涉仪
TOPOS 100

... TOPOS 100 是一款非接触式平坦度测量仪器,用于精密制造表面,具有亚微米精度。 TOPOS 平坦度测量仪器满足 客观工作测量工具的要求,用于精密部件(例如燃油喷射 系统、泵或阀门)的生产和质量控制。 TOPOS 干涉仪允许对研磨、 精加工和抛光精密部件进行非接触式平坦度测量。 TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度,光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 ...

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Lamtech Lasermesstechnik GmbH
平面度测量干涉仪
平面度测量干涉仪

... 通过交叉或旋转台对 TOPOS 100 进行延伸的大环和表面的平坦度测量 TOPOS 干涉仪基于非接触式测量原理. 这是使用十字台或旋转台进行测量的基础。 因此,根据干涉仪的测量领域,可测量件的尺寸没有限制。 采用@@ 交叉式或旋转式工作台的方法,测量过程完全自动化。 单个测量值的数量取决于测试对象的大小。 每段测量完毕后,用户将像其他任何正常测量一样获得整件的平整度值。 外径可达 420mm、环宽度可达 80mm 的大环 为了测量大环,将用重叠测量环段。 ...

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Lamtech Lasermesstechnik GmbH
激光干涉仪
激光干涉仪
µLine-F1

µLine® - 激光干涉仪测量系统 激光干涉仪测量系统的特点: 激光干涉仪中内置补偿单元 易编程的输入和输出端 温度、气压和湿度传感器与激光干涉仪之间是无线通信 测量速度高达6m/s 设计紧凑,便于携带 (携带箱尺寸:350 x 200 x 250mm) 二维90°角度器 (精度:5µm/m) 三维90°角度器 (精度:5µm/m – 同样适用于直线度激光测量系统)

干涉仪
干涉仪
SI series

干涉仪
干涉仪
SA200 Series

菲佐干涉仪
菲佐干涉仪

... - 菲佐干涉仪 - 测量直径从4英寸到12英寸 - 花岗岩底座 - 被动隔振系统 - 自动干涉评估 软件 监视器上的现场图 Windows 7的软件 自动生成程序文件 二维和三维图形 不同的数据显示方式 手动/自动生成图片 选项 缩放 系统质量:.../10 高分辨率相机 ...

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LT Ultra-Precision Technology GmbH
激光干涉仪
激光干涉仪
2100C

... 2100C 激光干涉仪概述 2100C 激光干涉仪取自最初设计并投入实际使用的 2100 激光干涉仪,而帕洛玛科技公司则隶属于休斯飞机工业产品部。 电线连接校准工具 2100C 激光干涉仪是通过测量微英寸运动测量超声探头偏移(或峰值振幅)的工具。 该工具最初设计用于校准帕洛玛科技公司的线材粘合系统。 由于其通用的测量质量和卓越的校准和测量精度,它已发现其他行业的用户,需要低成本替代昂贵得多的激光振动计。 导线接合机需要 校准校准校准,因为其压电驱动器随时间而变化。 ...

动力干涉仪
动力干涉仪
PhaseCam 6000

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4D Technology
校准干涉仪
校准干涉仪
VLM200

... 准确性标准 您的垂直测量解决方案是 Laseruler,它以激光干涉仪为基础,精度极高。 您可以完全放心地测量精密薄膜、零件和量具的高度和厚度。 我们独有的数字干涉仪通过比较测量探头的位置和氦氖(He-Ne)激光光源的波长来测量试样的尺寸,有效地将光的波长与被测件耦合。我们获得专利的激光路径与测量轴一致,消除了阿贝偏移误差。 操作员只需按下按钮或脚踏开关,其余的工作就由仪器来完成。 Laseruler® 可测量 -薄膜厚度 -光学元件 -量块 -球/球体 -球轴承 -涂层厚度 -涂层厚度标准 -插销量规 -螺纹丝 -航空航天零件 -汽车零件 -医疗器械 Laseruler® ...

菲佐干涉仪
菲佐干涉仪
OWI series

OWI Desktop 60 mm 特征 非接触式镜片测量系统 坚固结实,带防震垫设计 结构紧凑,桌面放置 易于使用 带千分调节螺丝的三轴精调平台 已包含我公司高级干涉仪模块OptoTech Inspect Mini EL-F 选配件:带精密量具,集成半径测量功能;OptoTech Fringe OWI干涉条纹分析软件 性能数据 工作范围:Ø最大60mm(根据60mm参考球面) 工作范围半径取决于参考球面 OWI 150 XT invers 特征 高精度斐索干涉仪OWI ...

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OptoTech
激光干涉仪
激光干涉仪
LDM600, LDM1300

... LDM600 模块设计用于共聚焦测量,基于波长 650 nm 的红色激光器和内部硅二极管检测器。 激光器和探测器通过内部 50-50 耦合器连接到两个光端口。 对于光学测量(如共聚焦显微镜部分),LDM600 还包含第二个独立的检测器端口。 所有光端口都是用于单模光纤的FC/APC连接器,检测器输出由 BNC 连接器提供。 激光功率可在每个输出端口的 500 µW 至 33 µW 之间调节。 LDM 600 模块将与 ACC100 机箱结合使用,用于电源(不包括,单独项目)。 ...

光学干涉仪
光学干涉仪

... 精密干涉仪 • 模式:米歇尔森、法布里-珀罗和特威曼-格林 • 大型精密光学 • 5 公斤加工铝底座, 任何干涉测量研究都不应忽视米歇尔逊干涉仪的历史重要性。 然而,在实验室中,法布里-珀罗和特威曼-格林干涉仪可以成为更重要的工具;第一种用于高分辨率光谱学,第二种用于测试和生产具有像差的光学元件,这些光学元器件可以以波长分数进行测量。 干涉仪是一种高精度移动镜面干涉仪,可用于执行米歇尔森、法布里-佩罗和特威曼-格林干涉测量。 后视镜配有拇指螺丝,因此易于设置和更改配置,包括用于空气实验折射率的真空泵。 ...

白光干涉仪
白光干涉仪

... 分布式偏振串扰 (X-Talk) 分析仪 (PXA-1000) 是白光干涉仪的增强版本,旨在通过沿偏振保持 (PM) 光纤分析应力引起的偏振交叉耦合来获取空间分辨应力信息。 其正在申请专利的光学设计消除了强烈的零阶干扰,并降低了传统白光干涉仪中常见的多耦合干扰,这两种干扰都可能导致测量信号出现鬼峰值。 去除鬼峰可使 PXA-1000 明确识别实际 x-talk 峰的幅度和位置,从而实现比传统白光干涉仪更高的测量灵敏度、更高的动态范围和更高的空间测量精度。 PXA-1000 ...

Fabry-Perot法布里-珀罗干涉仪
Fabry-Perot法布里-珀罗干涉仪
FFP-SI

... 微米光学 FFP-SI 光纤法布里-珀罗扫描干涉仪是一种无透镜的平面法布里-珀罗干涉仪,在两个高反射多层反射镜之间采用单模光纤波导,直接沉积在光纤上。 该腔完全由光纤波导组成,允许非常宽的可能自由光谱范围 (FSRs),无需对齐或模型匹配。 波长扫描是通过使用堆叠压电执行器对腔内的短片光纤进行轴向应变来实现的。 扫描频率达到 100 Hz 或更高,可直接测量瞬态光学现象,例如激光颤抖和抖动。 在较长时间内实现稳定和可重复的扫描,可直接测量缓慢变化的光学现象,例如激光漂移。 ...

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Micron Optics
白光干涉仪
白光干涉仪
interferoMETER

亚纳米级位移测量干涉仪
亚纳米级位移测量干涉仪
interferoMETER 5600-DS

... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准,可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务,例如,在电子和半导体生产中。对于真空应用,Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的,甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值,因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量,阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时,脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率,相对于测量范围而言,具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量,可同时评估多达14个距离值。例如,可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后,控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务,干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...

自动化干涉仪
自动化干涉仪
AERI

... 大气发射辐射度干涉仪,或称AERI™,是一个坚固的自动探测光谱辐射仪系统,可在恶劣的环境条件下进行无人值守操作。它可以高精度地测量绝对的下沉式大气发射的红外辐射度。加上专门的算法,这个遥感工具可以在白天和晚上全年工作(降水期间除外),每8分钟连续提供温度和湿度以及其他大气变量的概况。 应用 天气预报 云和气溶胶研究 空气质量监测(污染)。 机场监测,等等。 特点 成熟的技术:一些已安装的系统已经连续运行了15年以上 高辐...度和可重复性,允许网络运行 波长精确,光谱分辨率高 高灵敏度 具有实时光谱处理的快速扫描能力 优点 可追踪的NIST辐射测量 在所有气候条件下运行(从北极到热带,甚至海洋)。 无人值守的操作 无消耗品 可在现场更换斯特林冷却器和计量激光器 不受ITAR限制 ...

亚纳米级位移测量干涉仪
亚纳米级位移测量干涉仪
MarSurf WI 50 M

全新 MarSurf WI 50 M 让亚纳米范围内的精确测量变得简单。这一 3D 测量仪器具有直观的软件用户指导和友好的界面设计,非常适合实验室中的日常使用和质量管理。 新 WI 50 M 满足您在纳米范围内的所有测量需求 - 提供最高的性能和令人惊叹的性价比。凭借极简方法、紧凑设计和巨大的安装空间,此工具不愧为“最佳入门级解决方案”。 典型测量任务 粗糙度测量符合 ISO 4287 & ISO 13565 / ISO 25178 表面特征轮廓测量(包括体积、磨损、摩擦学) 轮廓和形状 ...

紧凑型干涉仪
紧凑型干涉仪
FI 1100 Z

强大的 Fizeau 干涉仪. 最小的测量不确定性和优异的灵活性及多功能性 无接触形状和轴前测量 MarOpto FI 1100 Z 是一款功能强大的紧凑型干涉仪,孔径 100 mm,可以提供平面和球面以及波阵面非接触测量。 可以通过简单的干涉条纹检测、IntelliPhase 静态空间载波分析或标准相位盘来执行测量。MarOpto FI 1100 Z 可提供现在的工业应用需要的灵活性和优异的性能。除表面测试光学组件外,还可以测量曲率和波阵面的半径。 尺寸小,方便集成到 ...

激光干涉仪
激光干涉仪
SJ6000

1. 产品简介   激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在高端制造领域应用广泛。   SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现最高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置   SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理   激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。   若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...

位移测量干涉仪
位移测量干涉仪
PICOSCALE V2

... 高精度的非接触式位移测量 对于位移的高精度测量,SmarAct提供PICOSCALE干涉仪。 - 3个平行激光干涉仪在一台仪器上进行3D测量 - 测量带宽高达2.5 MHz(10 MHz采样率),分辨率低至1 pm1 - 可在大多数材料(塑料、玻璃、金属甚至水)上进行测量 - 多种传感器头可用于不同的应用和环境(包括真空和低温)。 - 可通过可选的模块扩展为一个完整的实验室测量和控制仪器 - 经过验证的性能,有100多个满意的客户 1 在频域中分析周期性位移时 应用实例 压电式扫描仪的高分辨率光学位移测量 样品的精确定位在各种应用中都是最重要的。虽然采用粘滑压电技术的定位系统提供了多种可能性,但在某些应用中,滑移行为是不可取的。在这种情况下,压电扫描器充分显示了它们的潜力。 在这种情况下,压电扫描器显示了它们的全部潜力,因为它们可以在几微米的范围内非常准确地定位一个样品。在这个应用说明中,压电式扫描仪的步骤得到了验证。在使用光学编码器作为传感器的闭环操作中,采用PICOSCALE干涉仪来揭示单纳米的步骤。 DeepL ...

位移测量干涉仪
位移测量干涉仪

... 控制器包含激光器、检测电子装置,并通过几个接口提供所有数据。 PICOSCALE干涉仪是一个强大的系统,用于非接触位移测量。PICOSCALE干涉仪控制器包含一个激光源和所有必要的电子元件,以评估光学信号。这些信号在传感器头中产生,通过光纤连接到控制器上。分光器将激光束分为参考光和测量光,分别从参考镜(通常在传感器头内)和目标上反射出来。由于采用了迈克尔逊原理,只需考虑极少的目标反射率问题。强大的固件模块、方便的软件和多功能的附件使得PICOSCALE干涉仪控制器可以轻松地集成到新的或已经存在的测量设置中。 输出信号 通道数 ...

干涉仪
干涉仪
F03

... 带聚焦光束的微观样品传感器头包含实际的干涉仪,并通过光纤与控制器连接。 F03传感器头包含一个迈克尔逊干涉仪,可与各种物镜结合,将测量激光束聚焦到一个微米大小的光点。这样就能以皮米级的分辨率测量微观目标的周期性位移。与PICOSCALE测振仪结合使用,该传感器头还可用于高分辨率共聚焦显微镜。 ...

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