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Nanomotion FBR系列旋转平台是结构最紧凑的精密旋转驱动器，一个直径为60mm的陶瓷圈环绕在带有非接触式光电编码器的精密交叉滚子旋转轴承上。FBR60可配置解析度为0.5角秒的编码器，一个或多个电机，以满足不同的转速/转矩的要求。
IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是极具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L，有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石，虽然是极小型，但最大推力达到了36N，可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT最适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。
运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...
运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s
... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径：80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台（如DT155）结合，用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1（根据要求达到1级）。 - ...
运行行程: 0.4, 0.2, 0.1 mm
NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动，所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能，使它们可以用于动态过程（如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描）。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计，适用于闭环操作 •共振频率高，适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 ...
运行行程: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
重复精度: 75 nm
... 我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置，在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外，ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力，是放大您的工艺过程的绝佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至0.5 nm - 全新 -在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -易于集成到多轴组件和运动子系统中 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选，这些应用包括 -光学装配与检测 -光纤对准与优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...
Aerotech/美国Aerotech
运行行程: max 16.0 µm
... 压电系统 Jena 的 PXY 系列是一个 XY 纳米定位级，用于将压电致动器分解成柔性铰链系统。 通过这些组件，该装置能够在具有纳米精度的动态条件下工作。 它配备了每轴约 700 微米的旅行范围。 此外，它还配备了集成的反馈控制，旨在实现长期稳定性和亚纳米精度。 该工具是特殊应用的理想选择，如光学、光纤定位、激光技术、二维扫描运动、自动化和遥导系统。 此外，它具有一种施工原理，可实现高分辨率应用，远远超出机械和机电定位系统的要求。 它很容易安装在所有类型的定位系统。 ...
运行行程: 1 mm
... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 ...
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