获得专利的Werth Fibre Probe® WFP 2D几十年来一直是微探针的行业标准,它能以最小的探测力对极小的几何形状进行高度精确的触觉测量。由于其低探测力,WFP®也适用于对具有敏感表面的工件进行光学测量的校准。典型的应用是橡胶和塑料部件、量具、喷丝板、微型齿轮以及注射喷嘴和涡轮叶片上的微孔。
• 由于对探测元件的直接评估,WFP®实现了十分之几微米的探测偏差。
• 探头轴的弯曲对测量结果没有影响
• 光纤探头的分辨率在纳米范围内,最终只取决于所用的光学器件
• 在扫描模式下,Werth Fibre Probe®用大量的测量点记录广泛的轮廓,据此,探头通过振动发生器不断保持运动,以避免粘滑效应。
准确度
允许的探测偏差达0,3 µm
它是如何工作的
一个图像处理传感器(a)相机,b)成像光学器件)用于测量工件e)移动时由LED c)照亮的探针球的偏移量ΔL。在目标偏移中,扫描球的准确位置与设备的刻度系统的坐标叠加,并作为测量点存储或用于扫描过程。与单球探针相比,双球探针f)在探测过程中可获得更大的浸入深度。)