通过纳米焦点探针,工件表面可以被捕获为三维点云,并可以评估微结构的尺寸、形状、位置和粗糙度。杂散光抑制使可靠的三维地形测量成为可能,即使是探测偏差在亚微米范围内的反射表面。共焦光学传感器在大倾角的陡峭侧翼上也能提供良好的结果。
• 不同的镜头使传感器能够适应手头的任务
• 传感器可用于三坐标测量机的整个测量体积,测量结果可在同一坐标系中进行链接
• 一个总的表面可以从几个相邻的部分点云中计算出来,几乎不损失精度
测量范围
"图中 "测量,集成了Z-测量轴 250 µm
准确度
允许的探测偏差达0,15 µm
它是如何工作的
通过移动带有a)照明、b)相机、c)针孔和d)成像光学器件的测量头,相对于工件e),光点f)、g)的强度通过散焦而变化。通过大的距离g)避免了失焦光点f)的重叠。