PVD镀膜机 SPECTOR-HT®
离子束辅助

PVD镀膜机
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产品规格型号

方法
PVD
所用技术
离子束辅助

产品介绍

用于光学镀膜的 SPECTOR-HT 离子束溅镀系统 达到物理气相沉积速率的离子束光学镀膜 配备 SPECTOR-HT™ 高级离子束溅镀系统,不仅可以生产出质量最佳的光学薄膜,还可以提升生产率和产量。SPECTOR-HT 系统以 SPECTOR® 离子束系统系列久经考验的优异性能为基础,可实现极佳的层厚度控制和更出色的工艺稳定性,而且光损耗在业内已公布的数据中也属最低。 对于带通滤波器、分束器以及无源式激光器等前沿光波干扰镀膜应用,SPECTOR-HT 的设计可以改善一些关键生产参数,如靶材利用率、光学端点控制和加工时间。SPECTOR-HT 将离子束溅镀 (IBS) 技术的诸多固有优势——低散射损耗、高薄膜纯度、稳定的沉积率和低于 0.1 纳米的薄膜厚度控制——整合到一个更为强大的套件中,从而显著提升制造商的产量并降低其拥有成本。 通过改善沉积率和增大批量,系统产量最高可以增加 400% 靶材利用率最高可以增加 300%、减少维护并改善整体拥有成本 专为提高薄膜均匀度而优化的刀具几何结构与固有的 IBS 加工技术优势相结合,可使材料均匀度提升 50%。 SPECTOR-HT 专为实现工艺灵活性而设计,可通过多种途径提高工艺灵活性:我们最新一代的工艺控制系统具备友好的操作界面,批量更大,工艺选择更丰富,沉积率稳定,可以实现无人值守的系统操作 著名 2013 年 R&D 100 大奖获得者

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。