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  • 产品

PVD镀膜机 / 离子束辅助 / 薄膜
SPECTOR VEECO

特性

  • 方法:

    PVD

  • 所用技术:

    离子束辅助

  • 镀层类型:

    薄膜

说明


“ Veeco的SPECTOR®大区域星球离子束证言系统与批量结合未被超越的离子束影片质量在那e射线系统附近。除一个更大的整体涂上的区域之外,健壮装置支持处理整体基体由400mm直径和100mm决定厚实。Veeco包括我们的16cm RF威力强大的证言来源和极端底的污秽RF中和剂保证高沉积率和影片质量。对于最大化学计量学控制和原地基体预洗涤或者铭刻支持,系统用我们的12cm RF协助离子源也装备。

与领先业界的生产量的离子束质量提供最便宜归属
横跨400mm行星的例外物质均一保证最大产物
高电流RF离子源提供优秀沉积率
大基体和调色板support提供的最大产品灵活性\ /html”

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