砷阀控裂解源 Corrosive Series

抗腐蚀系列阀式裂解器 实现复杂设备结构的生长 抗腐蚀系列阀式裂解器具有卓越的流量控制效果，可以实现采用传统控制源无法得到的复杂结构。无需使用标准源所需的频繁重新校准程序，不同成分的混合 Group V 层也可以生长。连续分级的 GaAs1-xSbx 层的 SIMS 分析展示了使用两个 Group V 阀式裂解器才可提供的卓越通量控制，并在两种不同的生长率条件下获得了相同的结果。 获得专利权的全 PBN 坩埚和阀门机械装置，已有超过 175 个投入现场应用 唯一具有经验证结果的阀式锑源 使用喷嘴获得极佳的流量均匀度并减少材料浪费 具有高可重现性的机械流量控制 大填充容量 允许在裂解或未裂解模式下操作 与 Sb、Te、Cd、CdTe、Zn 和 Mg 兼容 专利 Veeco 防腐系列阀式裂解器是当前市场上唯一经过验证的全 PBN 阀式源。这种创新技术为不与传统金属坩埚和阀式源兼容的活性高蒸气压材料（锑、碲等）提供阀式通量控制。源设计采用了专门热解氮化硼 (PBN) 制成的整个阀总成、坩埚和导管，以防止其受到腐蚀。 阀总成可拆卸，以便通过导管轻松加载大容量坩埚。坩埚经加热产生束通量。气流通过 PBN 阀调节，可提供快速的通量稳定化、快速的关断和良好的再现性。在裂解区，分子通量可能热裂缝成较小的分子或原子种类。如果需要，源也可以在非裂解模式下工作。 利用新增加的增强功能，Mark V 防腐系列阀式裂解器加入了一个喷嘴，该喷嘴可提供卓越的通量均匀度和减少材料浪费。这种在材料利用方面的改进有助于： 节省材料成本 延长炉龄期 缩短系统清洁时间 减少有害废物生成 降低记忆效应 降低微粒水平和减少剥落 减少系统窗口涂层