气浮位移台 LA340-EDLM series线性线性电机驱动单轴
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 线性电机驱动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 高精度, 高速, 测量, 可测微, 气浮
- 运行行程
500 mm, 1,000 mm, 1,500 mm, 2,000 mm
(19.685 in, 39.37 in, 59.055 in, 78.74 in)- 速度
790 mm/s, 1,210 mm/s, 1,630 mm/s, 2,060 mm/s
产品介绍
LA340线性平台的宽度为340毫米，以花岗岩板为基础，采用空气轴承构造。这使得它可以用于所有需要完美的平面度、最小的俯仰和偏航公差以及平稳运行特性的应用。
- 是扫描应用或高精度定位的理想选择
- 非常高的重复性，可达±0.3 µm
- 速度高达2060毫米/秒的高动态性能
- 负载能力高达 500 N
- 完美的平面度，高达± 0.8 µm
- 超长的使用寿命
- 可提供无尘室型号
高动态性和完美的平面度
该直线轴的驱动概念是基于一个动态的线性马达和一个线性测量系统，从而实现了高速度和高加速度的高精度和出色的可重复性。
应用的领域
计量、检测、激光加工、光子学、精密扫描、半导体或平板显示器制造中的精密定位
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