多轴纳米定位系统 SMARPOD P-SLC-17

六足式带有并联机构高真空

一个中型SMARPOD，基于平行方向的SLC-17级，能够定位高达5N的有效载荷。 SMARPOD P-SLC-17是基于与水平安装的级的方向有关的不同机械设计。与几乎相同尺寸的圆形SMARPOD相比，P-SLC-17提供了更大的行程范围，省去了圆形设计中的开孔。 基于SLC-17系列平台，SMARPOD P-SLC-17也有高真空和超高真空版本，以及完全由非磁性材料制成的版本。 机械性能 行程[mm] - 48 (X); 28 ...48 (Y); ≤ 9 (Z) 行程 [- ≤ 28 (Θx); ≤ 26 (Θy); ≤ 20 (Θz) 最大。法向力[N] - 5 最大。水平力[N] - 2.5 尺寸[毫米] - 110 x 80 地面以上的平台高度[mm] - 67.5 重量[g] - 300 ...2000 闭环 传感器类型 - S; SC 最小的增量[nm] - 1 最小增量[µrad] - 1 闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200 闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10 闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)