多轴纳米定位系统 SMARPOD 225.75

六足式带有并联机构高真空

SMARPOD 225.75是基于复杂的平行运动学设计，能够处理高达10N的有效载荷。 SMARPOD 225.75是较大的SmarAct SMARPOD之一，在X和Y方向提供超过40毫米的大行程范围。作为一个选项，底板可以配备安装柱，用于在SMARPOD的移动平台附近放置工具、传感器或其他部件。 像其他SmarAct SMARPOD一样，225.75也有高真空和超高真空版本，或由完全非磁性材料制成。 机械性能 行程[毫米] - 41（X）; 41（Y）; 21（Z） 行程[- 20（Θx）；23（Θy）；41（Θz） 最大。法向力[N] - 10 最大。水平力[N] - 5 尺寸[毫米] - Ø 225 地面以上的平台高度[mm] - 75 重量[g] - 1000 闭环 传感器类型 - S; SC 最小的增量[纳米] - 1 最小增量[µrad] - 1 闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200 闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10 闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)