多轴纳米定位系统 SMARPOD 110.45
六足式带有并联机构高真空

多轴纳米定位系统
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产品规格型号

轴数量
多轴
构造
六足式
其他特性
带有并联机构, 高真空
重复精度

50 nm

运行行程

11 mm, 20 mm
(0.43 in, 0.79 in)

产品介绍

中等规模的SMARPOD 110.45能够以6个DoF定位高达5N的有效载荷。 SMARPOD 110.45是一个中型的类似六爪鱼的定位系统。由于其较大的行程范围,它的用途非常广泛。可选的是,底板可以配备工具、部件或传感器的安装柱,将定位系统转换为微组装和任何其他涉及精确对齐的应用的核心设备。 与其他SmarAct SMARPOD一样,110.45也有高真空和超高真空版本,或由完全非磁性材料制成。 机械性能 行程[毫米] - 20(X); 20(Y); 10(Z) 行程[-21(Θx);24(Θy);38(Θz) 最大。法向力[N] - 5 最大。水平力[N] - 2.5 尺寸[毫米] - Ø 110 地面以上的平台高度[mm] - 45 重量 [g] - 400 闭环 传感器类型 - S; SC 最小的增量[纳米] - 1 最小增量[µrad] - 1 闭环重复性,全行程MCS2 [nm] - < ± 200 闭环重复性,1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10 闭环重复性,全行程MCS2 [µrad] - < ± 15 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。