多轴纳米定位系统 SMARPOD 70.42

六足式带有并联机构高真空

尽管体积小，但小型化的SMARPOD 70.42能够处理高达5N的有效载荷。 SMARPOD 70.42是SmarAct最小的类似六爪鱼的定位系统，底板直径只有70毫米。尽管它的整体结构很紧凑，但它是一个坚固而精确的系统，可以处理高达5 N的有效载荷，在X和Y方向上有一厘米的移动范围。 它也有高真空和超高真空兼容版本，并可由完全非磁性材料制成。 机械 行程[- 14（Θx）；16（Θy）；28（Θz） 最大。法向力[N] - 5 最大的。水平力[N] - 2.5 尺寸[毫米] - Ø 70 地面以上的平台高度[mm] - 42 重量 [g] - 300 闭环 传感器类型 - S; SC 最小的增量[纳米] - 1 最小增量[µrad] - 1 闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200 闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10 闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15 选项 真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 无磁选项 - 是 (-NM)