X射线检查机 MFM310

晶圆高解析度

MFM310 Rigaku MFM310进行高精密度的测量不可能用光学或超音波技术。这个老练X-射线计量学工具使它实用进行在范围从超薄的单层影片的产品和一揽子薄酥饼的高生产量测量到多层堆。 设计为大容积制造业 MFM310设计与制造在头脑里的大容积200mm和300mm：高生产量由XRR和XRF的厚度测量，低污秽薄酥饼处理和样式公认根据产品薄酥饼测量、欧盟标记和S2/S8服从的半导体生产洁净室操作的，遵照职位控制GEM-300/HSMS和工厂自动化标准、高可靠性机器表现和低功率归属的消耗量和费用。 COLORS™使能技术 COLORS™ X-射线光学由MFM310的Rigaku开发能使能从小范围的测量。颜色放光模块夫妇与光学的各种各样的XRF励磁来源和被优选为各种各样的薄膜应用提供在小斑点的高亮度。它自己的X-射线光学事务，Rigaku准备就绪开发和制造当前和期货市场需要的X-射线来源。 特点 微型斑点伦琴射线束和模式识别 高生产量，产品薄酥饼测量 大范围材料和应用 包括从Ångstroms的高分辨率和精确度厚度到微米 对200mm和300mm薄酥饼 可利用对300mm工厂自动化 根据半S2和半S8的设计