蒸发面积> 50 mm
坩埚capacitiy 10 cm3
从导线、标尺或者坩埚的蒸发
联合冷却的快门
水冷却极小的压力上升的
焦点产品
EFM 6蒸发器扩大在大规模上的EFM产品范围。 NW 63锎(4.5 " OD)基本的耳轮缘和10 cm3坩埚容量, EFM 6举行大约十次同样多材料象EFM 3。 已经在一个短的工作距离蒸发面积大于直径的50 mm,做于在2 "并且4之间的"基体6理想地说适合的EFM。 以联合涨潮为特色监测并且关闭, EFM 6在中型蒸发器范围的一独特的工具,不仅适用于为次级单层成长,而且厚实的粘结垫等。 对于延长的服务周期, EFM 6用一条双重细丝装备。
EVC提供必需的大功率加热大坩埚1200年。
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