通过物理/化学反应过程的高频感应产生约10000度的热等离子体,实现纳米粒子合成和厚膜合成(成膜)。
特征
原理・特点
射频热等离子体在大气压或接近大气压的低压环境中工作,将高频功率集中在一个特定的位置,利用电磁感应从各种气体中自发地产生大约10000度的等离子体。
这种热等离子体是电弧放电的一个区域。 通过将材料(粉末、气体、液体)引入等离子体,有可能诱发汽化、熔化、解离和化学反应,应用于纳米粒子合成、粉末球化和反应、成膜和有害气体的解离。
与直流电弧放电相比,可以获得更大的等离子体体积
气体流量也比直流等离子体的好。由于流速慢了一个数量级,因此有可能充分加热材料以诱发所需的反应。
由于没有电极,所以没有电极材料的污染,可以进行高纯度的处理。
可以使用广泛的气体,包括氧化性、还原性和腐蚀性气体
可以创造出细小的颗粒,其细度为纳米级,超出了机械粉碎的能力。
能够利用高能化学物种的反应,如原子、离子、受激分子和自由基,为创造新物质和材料提供了可能。
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