线性位移台 METIS XYZT

机动双轴气浮

这个平台是一个杂种平面机械/气浮轴承平台致力跨步和扫描应用。这是行动朝X、Y、Z和希腊字母的第八字方向的一个6个轴平台。在充分的旅行的动态扁平以及双向反复性是关键参量。 这个平台当前得用于： - 薄酥饼程序控制的应用例如重要维度和薄膜计量学。 - 薄酥饼划线 - 薄酥饼激光热量焖火 也许也用于后面行尾石版印刷机器(面具直线对准器)和在某一薄酥饼把切成小方块的应用。 这个平台以为特色： - 气浮轴承给的行动的扁平 - 在希腊字母的第八字的无限的自转 - 双重Z综合化：装载的/卸载粗糙的旅行和焦点adjustement的美好的旅行 - Buit在Z (专利审理的重力补偿器) - 弹道正切角更正可以由轻微转移Y1和Y2马达完成 - 能进一步集成与ETEL充分地控制的一个活跃隔离系统 - 在X和Y的旅行可以用一些局限长期做在表现 主要规格： - 全面冲程：X - Y的x12的mm 320 mm Z的 - 速度：X - Y的1.2 m/s，Z的0.1 m/s和T的15.7 rad/s - 加速度：1.2 g X - Y的，0.2 g Z的和104.7 rad/s2 T的 - 位置稳定：X - Y的T的±25 nm，Z的±15 nm和±0.2弧秒 - 双向反复性：±0.4 X - Y的Z的µm，±0.3 T的µm和±2弧秒