等离子表面处理机 Pico

实验室

Pico 等离子设备能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Pico 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Pico 等离子系统主要应用于以下领域： 分析 (REM, TEM) 考古 汽车行业 研究和开发部门 半导体技术 小批量生产 塑料技术 医疗技术 微系统技术 传感器 灭菌 纺织技术 基本设备 根据具体组件 / 选装件，外壳规格会有所不同 腔室容积：根据具体版本，分为 4 - 15 升 供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 气源 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) 真空腔室 圆形不锈钢件，配有盖子 （大约 ∅ 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm）或者 矩形不锈钢件，配有铰链的门 （约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm） 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门 （大约 ∅ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm） 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 （大约 ∅ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm） 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 （大约 ∅ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm） 装载件 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 电极 单层或多层 RIE 控制系统 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) 压力测量 Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） 计时器 数字型