多通道阀组

可供使用的质量流量集管标准平台，在单个基板上安装有多达 4 个质量流量控制器或者流量计。集管具有混合器或者分离器配置，从而可以根据客户要求，校准每一个通道。该产品是混合或者分离气体流的紧凑即用型解决方案，具有最高精确度和再现性。